端跳70納米 氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)airUPRT系列 德瑪特氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)，采用無齒槽效應(yīng)電機(jī)芯，無軸承摩擦磨損，具備超高的速度穩(wěn)定性，納米級(jí)端徑跳。適合半導(dǎo)體行業(yè)劃片、減薄、涂膠、光刻、光學(xué)檢測等超高精度加工場景。 氣浮系列 2024年07月20日
