德瑪特直驅涂布平臺，采用大理石基座，穩定性高，直線(xiàn)度好，雙向重復定位精度低至0.8μm，滑臺跳動(dòng)精度小于4μm。

大理石涂布平臺

單位

性能參數

有效行程

mm

600

編碼器類(lèi)型

 -

增量式光柵

編碼器分辨率

μm

0.5

重復定位精度

μm

±1

實(shí)際負載

kg

5

空載運動(dòng)質(zhì)量

kg

85

速度

m/s

0.1