德瑪特氣浮直線(xiàn)平臺,主要用于精密檢測,行程2米,最大速度可達2米/秒,在長(cháng)行程下依然能保持高精度,重復精度達到±0.6um,使之在高精度要求的行業(yè)具有廣泛的應用前景。
例如在半導體行業(yè)適用于晶圓檢測;在醫療器械制造中,可以讓零部件尺寸達到非常高的精度,表面光潔度好;在航空航天領(lǐng)域,要求機床具有高速加工和高精度定位能力,以滿(mǎn)足輕量化和結構優(yōu)化的需求。
氣浮直線(xiàn)平臺的主要優(yōu)點(diǎn):
以空氣作為潤滑介質(zhì),運動(dòng)部件沒(méi)有機械接觸、無(wú)機械摩擦;
使用花崗巖大理石作為底座,極高的剛性和出色的幾何特性,能保持好的穩定性,直線(xiàn)度和重復精度;
使用靜音型氣浮導軌,獨有的小孔節流技術(shù),解決在高壓?jiǎn)?wèn)題上的氣錘效應及微觀(guān)波動(dòng);
在氣膜的均化效應下,可以達到非常出色的直線(xiàn)度;膜厚度幾乎不受速度的影響,即使在很低的速度下也不發(fā)生蠕變,運動(dòng)穩定。