在這個(gè)高科技日新月異的時(shí)代，半導體行業(yè)的高性能裝備對傳動(dòng)系統的要求愈發(fā)嚴苛：既需要強勁的轉矩,又需要精準的定位；既要高速運轉,又要低噪音靜音；既要耐久穩定,又要無(wú)需維護......

然而，常規馬達早已難以滿(mǎn)足種種新要求。此時(shí)，更為先進(jìn)的直驅電機（直線(xiàn)電機與DD馬達）應運而生——

采用德瑪特直驅技術(shù)，高速高精度；部分采用磁懸浮，穩定靜音；采用封閉環(huán)控制,實(shí)時(shí)監測最高可實(shí)現納米級反饋；無(wú)需傳動(dòng)，維護成本低；采用全定制設計，完美匹配您的裝備。

德瑪特有多款直驅產(chǎn)品已經(jīng)廣泛應用于半導體行業(yè)：

德瑪特無(wú)鐵芯直線(xiàn)電機DU系列

?高速度、高動(dòng)態(tài)響應
?無(wú)齒槽效應，速度波動(dòng)小，穩定性更高
?精度高
?安裝尺寸小，溫升低

德瑪特DU系列無(wú)鐵芯直線(xiàn)電機，通過(guò)高精度運動(dòng)控制解決方案，在半導體晶圓劃片、離子注入等工藝流程有出色的表現。

德瑪特?槽DD?達S系列

適用于各類(lèi)高精密轉臺。

德瑪特高精度端面電機NXA系列

德瑪特端面電機NXA160，響應快，μm級高精度，可用于半導體和激光制造中精準對位。

技術(shù)參數：

德瑪特高速響應轉臺HD系列

德瑪特轉臺HD140，具有高轉動(dòng)慣量，適?于?精度?速度分度應?， 如芯?分揀機、精密檢測儀器等。

應用場(chǎng)景：

德瑪特直線(xiàn)執行器DO系列

德瑪特直線(xiàn)執行器DO系列，小行程，高速度，高加速度，與德瑪特高響應轉臺配合，加入取放模塊可以進(jìn)行高速的分揀作業(yè)，或裝配工藝流程。

德瑪特超高精度氣浮轉臺

超精密納米級氣浮平臺在半導體制造中的應用非常重要，如在半導體后段封測的核心設備固晶機、焊線(xiàn)機和磨片機上，都需要高速高精的運動(dòng)控制核心技術(shù)平臺，在包括運動(dòng)控制、伺服驅動(dòng)、直線(xiàn)電機和視覺(jué)系統的整個(gè)底層核心技術(shù)平臺的基礎上，才能開(kāi)發(fā)出固晶、焊線(xiàn)、先進(jìn)封裝等全系列設備。

德瑪特雙導軌XY氣浮平臺

德瑪特雙導軌氣浮平臺，采?德瑪特?精度?鐵芯直線(xiàn)電機模組組成，大理石平臺為底座，安裝精度高，維護方便。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

德瑪特大理石氣浮平臺

德瑪特大理石氣浮平臺，采?德瑪特?精度?鐵芯直線(xiàn)電機模組，大理石基座，精度高，響應快，可用做半導體行業(yè)高精度檢測平臺。

技術(shù)參數：