德瑪特直驅XY加工平臺,在動(dòng)力傳動(dòng)系統中未使用機械零件,其可直接將驅動(dòng)力傳輸至運動(dòng)平臺,且無(wú)摩擦,可實(shí)現高速度和高加速度的快速加工。
雙無(wú)鐵芯直線(xiàn)電機配置,非常適合對精度有高要求的定位任務(wù),因為其不會(huì )與永久性磁鐵發(fā)生不良作用。這樣即使在最低的速度下也能保持平穩的運行,同時(shí),在高速狀態(tài)下也不會(huì )產(chǎn)生振動(dòng)。避免了控制的非線(xiàn)性行為并且每個(gè)位置都很容易控制。驅動(dòng)力可任意設定。
適合各種微米級平面加工,并可以增加風(fēng)琴罩來(lái)配合更復雜加工環(huán)境,例如精密機床加工,精密產(chǎn)線(xiàn)傳輸與掃描等,如芯片行業(yè)。
技術(shù)參數
規格參數 | 單位 | 數值 |
行程 | mm | 220×250(設計行程范圍:800) |
直線(xiàn)度 | μm | ±2.5 |
平面度 | μm | 5 |
垂直度 | μm | ±2.5 |
精度 | μm | ±2 |
重復精度 | μm | ±0.75 |
最大速度 | m/s | 2 |